光學(xué)輪廓儀是一種基于光學(xué)干涉原理的精密測量儀器。其測量原理主要基于白光干涉技術(shù)，結(jié)合精密Z向掃描模塊和3D建模算法等，對器件表面進(jìn)行非接觸式掃描并建立表面3D圖像。具體過程如下：
 

　　光源與分光：光學(xué)輪廓儀的光源發(fā)出的光經(jīng)過擴(kuò)束準(zhǔn)直后，經(jīng)過分光棱鏡分成兩束光。
 

　　反射與干涉：一束光經(jīng)被測表面反射回來，另一束光經(jīng)參考鏡反射。這兩束反射光最終匯聚并發(fā)生干涉。
 

　　形貌轉(zhuǎn)化為干涉條紋：顯微鏡將被測表面的形貌特征轉(zhuǎn)化為干涉條紋信號(hào)。
 

　　數(shù)據(jù)處理：通過系統(tǒng)軟件對干涉條紋信號(hào)進(jìn)行數(shù)據(jù)處理與分析，獲取反映器件表面質(zhì)量的2D、3D參數(shù)，實(shí)現(xiàn)器件表面形貌的3D測量。
 

　　優(yōu)勢：
 

　　光學(xué)輪廓儀相較于其他測量工具，具有顯著的優(yōu)勢，主要包括以下幾點(diǎn)：
 

　　高精度：能夠?qū)崿F(xiàn)亞微米級(jí)別的形狀和表面粗糙度測量，測量精度高于是其他測量方法的。干涉條紋每移動(dòng)一個(gè)條紋間距，光程差就改變一個(gè)波長(～10^-7米)，因此其測量精度高。
 

　　非接觸式：采用非接觸式測量方法，不會(huì)對被測物體造成損傷或變形，特別適用于各種材料、形狀和尺寸的物體測量。
 

　　大面積快速測量：測量范圍為毫米級(jí)，XY樣品臺(tái)可達(dá)100mm*100mm，能夠輕松測量大面積樣品。
 

　　可視化3D功能：配備強(qiáng)大的處理軟件，可以進(jìn)行表面粗糙度、形狀、臺(tái)階高度的測量，并支持任意角度移動(dòng)樣品進(jìn)行3D圖形測量，多角度分析樣品圖像。
 

　　高效性：可實(shí)現(xiàn)快速高效的測量，并能夠完成大批量樣品的自動(dòng)化測量。
 

　　使用便捷：只需將樣品放在樣品臺(tái)上，即可直接測量，無需更換耗材，只需一個(gè)LED光源。
 

　　綜上所述，光學(xué)輪廓儀測量原理和顯著的優(yōu)勢，在制造業(yè)、醫(yī)療設(shè)備、半導(dǎo)體和生命科學(xué)等多個(gè)領(lǐng)域得到廣泛應(yīng)用，為產(chǎn)品質(zhì)量控制、科學(xué)研究和生產(chǎn)過程監(jiān)測提供了強(qiáng)有力的支持。