一、ZYGO共聚焦干涉儀技術(shù)突破：從實(shí)驗(yàn)室精度到工業(yè)環(huán)境適應(yīng)性
 

　　抗振與動(dòng)態(tài)測(cè)量能力
 

　　傳統(tǒng)干涉儀對(duì)環(huán)境振動(dòng)極為敏感，需在恒溫、隔振實(shí)驗(yàn)室中運(yùn)行。ZYGO通過(guò)QPSI™(快速相位偏移干涉)技術(shù)，結(jié)合波長(zhǎng)調(diào)制采樣方式，使共聚焦干涉儀在振動(dòng)環(huán)境下仍能保持高精度測(cè)量。例如，其300mm立式球面干涉儀(VWS)在生產(chǎn)環(huán)境中實(shí)現(xiàn)RMS波前重復(fù)性優(yōu)于1納米，曲率半徑測(cè)試不確定度達(dá)百納米級(jí)，突破了實(shí)驗(yàn)室級(jí)儀器對(duì)環(huán)境的嚴(yán)苛依賴。
 

　　大口徑與復(fù)雜曲面測(cè)量
 

　　針對(duì)工業(yè)大尺寸元件(如光刻物鏡透鏡)，ZYGO開(kāi)發(fā)了12英寸(300mm)立式球面干涉儀，整合氣浮減振裝置與溫控系統(tǒng)，確保測(cè)試穩(wěn)定性。同時(shí)，基于拼接技術(shù)與標(biāo)準(zhǔn)球面鏡，其Verifire Asphere+(VFA+)可非接觸測(cè)量軸向?qū)ΨQ非球面，單次檢測(cè)覆蓋百萬(wàn)像素級(jí)3D形貌，滿足自由曲面、圓柱及離軸圓錐曲面等復(fù)雜幾何形狀的批量檢測(cè)需求。
 

　　絕對(duì)標(biāo)定技術(shù)提升精度
 

　　ZYGO的平面及球面絕對(duì)標(biāo)定技術(shù)通過(guò)減除標(biāo)準(zhǔn)鏡的系統(tǒng)誤差，使面形測(cè)試精度突破參考鏡限制。例如，1/20λ精度的鏡頭經(jīng)標(biāo)定后可達(dá)1/50λ甚至1/100λ，顯著提升工業(yè)計(jì)量基準(zhǔn)的可靠性。
 

　　二、應(yīng)用拓展：從科研到全產(chǎn)業(yè)鏈覆蓋
 

　　光學(xué)制造：從元件到系統(tǒng)的全流程控制
 

　　表面形貌檢測(cè)：ZYGO干涉儀可測(cè)量光學(xué)元件的粗糙度、平面度、平行度及臺(tái)階高度等參數(shù)，支持窗口、反射鏡、透鏡等元件的波前分析。
 

　　曲率半徑測(cè)量：通過(guò)線性導(dǎo)軌與位移傳感器，結(jié)合編碼器或測(cè)距干涉儀(DMI)，實(shí)現(xiàn)球面曲率半徑的高精度測(cè)量，兼容短半徑與長(zhǎng)半徑表面。
 

　　系統(tǒng)級(jí)裝配驗(yàn)證：在光學(xué)系統(tǒng)組裝階段，干涉儀可檢測(cè)組件間的波前匹配性，確保系統(tǒng)性能符合設(shè)計(jì)指標(biāo)。
 

　　半導(dǎo)體與精密加工：亞納米級(jí)質(zhì)量控制
 

　　在半導(dǎo)體制造中，ZYGO干涉儀用于檢測(cè)晶圓表面形貌及光刻物鏡的透鏡曲率半徑，其6萬(wàn)小時(shí)壽命的HeNe激光源與0.0001nm波長(zhǎng)穩(wěn)定性，滿足微光應(yīng)用與長(zhǎng)期運(yùn)行需求。此外，儀器可量化金屬和陶瓷表面的中高頻特征，支持精密加工件的表面質(zhì)量評(píng)估。
 

　　自動(dòng)化與批量檢測(cè)：提升生產(chǎn)效率
 

　　全自動(dòng)樣品臺(tái)：VFA+配備六維度(X/Y平移、傾斜、俯仰、高低、旋轉(zhuǎn))調(diào)整樣品臺(tái)，支持自動(dòng)化測(cè)試腳本程序，減少人工干預(yù)。
 

　　高速批量檢測(cè)：結(jié)合CGH(全息板)技術(shù)，VFA+可在十幾秒內(nèi)完成非球面3D形貌測(cè)量，適用于大規(guī)模柔性光學(xué)制造。
 

　　智能附件系統(tǒng)：Qualifire系列通過(guò)智能球面參考鏡(TS)自動(dòng)設(shè)置曲率半徑，并加載出廠校準(zhǔn)的系統(tǒng)誤差圖，實(shí)現(xiàn)“即插即用”的高效計(jì)量。
 

　　三、行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)重塑：從性能指標(biāo)到方法論革新
 

　　推動(dòng)ISO/ASME標(biāo)準(zhǔn)更新
 

　　ZYGO干涉儀的抗振性能、動(dòng)態(tài)測(cè)量范圍及絕對(duì)標(biāo)定精度，在光學(xué)計(jì)量領(lǐng)域表現(xiàn)突出。例如，其QPSI技術(shù)被納入ISO 10110-8標(biāo)準(zhǔn)，作為振動(dòng)環(huán)境下表面形貌檢測(cè)的推薦方法。
 

　　定義“工業(yè)級(jí)納米精度”
 

　　傳統(tǒng)實(shí)驗(yàn)室儀器以“靜態(tài)、恒溫、隔振”為前提，而ZYGO通過(guò)環(huán)境適應(yīng)性設(shè)計(jì)(如VWS的溫控框架、Qualifire的穩(wěn)定變焦)，重新定義了工業(yè)環(huán)境中的納米級(jí)計(jì)量標(biāo)準(zhǔn)，使生產(chǎn)線上的精度指標(biāo)與實(shí)驗(yàn)室對(duì)齊。
 

　　開(kāi)放計(jì)量生態(tài)：從設(shè)備到解決方案
 

　　ZYGO提供一站式計(jì)量工作站，集成干涉儀、參考附件、光機(jī)械子系統(tǒng)及Mx™計(jì)量軟件，覆蓋從手動(dòng)到自動(dòng)的全配置需求。例如，Verifire VTS工作站以垂直方向測(cè)量曲率半徑，占地面積小且集成被動(dòng)隔振功能，成為生產(chǎn)環(huán)境的理想選擇。
 

　　四、未來(lái)展望：智能計(jì)量與柔性制造的融合
 

　　隨著人工智能與機(jī)器學(xué)習(xí)在計(jì)量領(lǐng)域的應(yīng)用，ZYGO正探索通過(guò)深度學(xué)習(xí)優(yōu)化干涉條紋分析，進(jìn)一步提升測(cè)量速度與缺陷識(shí)別能力。同時(shí)，其模塊化設(shè)計(jì)(如Qualifire的飛點(diǎn)模塊、CGH平臺(tái))為未來(lái)兼容更多工業(yè)場(chǎng)景(如AR/VR光學(xué)元件、量子通信器件)奠定基礎(chǔ)。
 

　　結(jié)論：ZYGO共聚焦干涉儀通過(guò)技術(shù)創(chuàng)新(抗振、動(dòng)態(tài)測(cè)量、絕對(duì)標(biāo)定)與應(yīng)用拓展(光學(xué)制造、半導(dǎo)體、精密加工)，將實(shí)驗(yàn)室級(jí)精度轉(zhuǎn)化為工業(yè)環(huán)境中的可復(fù)現(xiàn)標(biāo)準(zhǔn)，重塑了從元件檢測(cè)到系統(tǒng)裝配的全產(chǎn)業(yè)鏈計(jì)量范式。其“設(shè)備+解決方案+標(biāo)準(zhǔn)”的生態(tài)布局，正推動(dòng)工業(yè)計(jì)量向智能化、柔性化方向演進(jìn)。