1.精密勻膠控制

•采用AR-P-5350光刻膠，嚴(yán)格控制膠層厚度在1μm

•"低速-高速"兩步旋涂法，確保膠膜均勻性

•精確控制前烘溫度和時(shí)間，提升膠膜附著力

2.智能曝光系統(tǒng)

•通過(guò)QCAD/Klayout軟件實(shí)現(xiàn)圖形原位設(shè)計(jì)

•智能劑量?jī)?yōu)化算法自動(dòng)匹配最佳曝光參數(shù)

•高精度對(duì)位系統(tǒng)確保圖形轉(zhuǎn)移精度

•采用高分辨率投影物鏡，突破光學(xué)衍射極限

•數(shù)字微鏡器件(DMD)實(shí)現(xiàn)快速圖形切換

•智能曝光控制系統(tǒng)確保工藝穩(wěn)定性

•支持1μm及以下線寬圖形制備

•操作簡(jiǎn)便，大幅提升科研效率

該技術(shù)已成功應(yīng)用于：

•二維材料器件電極制備

•納米電子器件研發(fā)

•微納傳感器制造

•量子器件研究

隨著微納加工技術(shù)的不斷發(fā)展，澤攸科技將持續(xù)優(yōu)化無(wú)掩膜光刻技術(shù)，為科研工作者提供更高效、更精準(zhǔn)的微納加工解決方案。