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技術(shù)文章
TECHNICAL ARTICLES
更新時(shí)間:2025-11-20
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在半導(dǎo)體制造工藝快速發(fā)展的今天,精密三維測量技術(shù)正成為推動(dòng)行業(yè)進(jìn)步的關(guān)鍵力量。近日,一場以"半導(dǎo)體制造中的精密三維測量技術(shù)"為主題的網(wǎng)絡(luò)研討會(huì),深入探討了該領(lǐng)域的突破與應(yīng)用前景。
第三代半導(dǎo)體材料的精密測量挑戰(zhàn)

隨著金剛石、碳化硅和鈣鈦礦等第三代半導(dǎo)體材料的廣泛應(yīng)用,晶圓制造和材料表征面臨著新的技術(shù)要求。通過干涉測量技術(shù)結(jié)合智能算法,研究人員能夠精準(zhǔn)測量具有微米級(jí)顆粒和納米級(jí)特征的復(fù)雜形貌,為新材料研發(fā)提供可靠支撐。
異構(gòu)集成技術(shù)的創(chuàng)新突破

異構(gòu)集成技術(shù)通過將微透鏡、共封裝光學(xué)元件和新材料等組件集成到封裝系統(tǒng)中,不僅賦予器件更多功能,還顯著提升了連接性能。這項(xiàng)技術(shù)的本質(zhì)是實(shí)現(xiàn)不同功能模塊的高效協(xié)同,為半導(dǎo)體器件帶來革命性變革。
MEMS技術(shù)的關(guān)鍵作用

微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)作為異構(gòu)集成中的核心組件,在單個(gè)封裝內(nèi)實(shí)現(xiàn)了機(jī)械、光學(xué)和電子功能的無縫組合。這種高度集成的技術(shù)路徑,為器件的小型化和功能多元化開辟了新的可能。
解決方案助力產(chǎn)業(yè)升級(jí)
Sensofar的3D光學(xué)計(jì)量解決方案集成了干涉、共聚焦、Ai多焦面疊加技術(shù)和膜厚測量等先進(jìn)技術(shù),為半導(dǎo)體制造提供的精度保障。配合專業(yè)分析軟件SensoVIEW和SensoPRO,該系統(tǒng)能夠?qū)崿F(xiàn)臺(tái)階高度、表面形貌和粘合界面等關(guān)鍵參數(shù)的可重復(fù)自動(dòng)化測量。
這些技術(shù)創(chuàng)新正在推動(dòng)半導(dǎo)體封裝和異構(gòu)集成技術(shù)持續(xù)發(fā)展。通過提供高精度、高穩(wěn)定性的測量數(shù)據(jù),Sensofar的解決方案為下一代高性能器件的研發(fā)制造提供了有力支持,幫助產(chǎn)業(yè)界突破技術(shù)瓶頸。
隨著半導(dǎo)體技術(shù)節(jié)點(diǎn)的不斷微縮,精密計(jì)量技術(shù)的重要性日益凸顯。從材料研究到器件制造,從工藝優(yōu)化到質(zhì)量管控,精準(zhǔn)的測量數(shù)據(jù)正成為推動(dòng)技術(shù)創(chuàng)新和產(chǎn)業(yè)升級(jí)的重要基石。未來,這種技術(shù)融合與創(chuàng)新將繼續(xù)為半導(dǎo)體行業(yè)注入新的活力。
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