ZYGO ZeGage Pro：高效3D表面測(cè)量方案

在現(xiàn)代質(zhì)量控制實(shí)驗(yàn)室中，測(cè)量?jī)x器不僅要提供可靠數(shù)據(jù)，還需兼顧效率與易用性。ZYGO ZeGage Pro 3D光學(xué)輪廓儀正是基于這樣的理念而設(shè)計(jì)，旨在成為生產(chǎn)線旁或研究實(shí)驗(yàn)室里的一款實(shí)用工具。

該產(chǎn)品的核心性能體現(xiàn)在其平衡的測(cè)量能力上。它能夠處理從相對(duì)光滑到相當(dāng)粗糙的各種表面，這得益于其自動(dòng)切換的VSI和PSI兩種模式。對(duì)于大范圍、高陡度的形貌，VSI模式可以快速完成測(cè)量；而對(duì)于超光滑表面納米級(jí)的細(xì)微起伏，PSI模式則能提供其細(xì)節(jié)信息。

在用料方面，ZeGage Pro的干涉鏡組由多層鍍膜的高質(zhì)量光學(xué)玻璃制成，旨在優(yōu)化光路效率和減少雜散光。精密導(dǎo)軌和驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)確保了樣品掃描的平穩(wěn)與定位的準(zhǔn)確性。整體外殼不僅起到保護(hù)作用，其設(shè)計(jì)也考慮了電磁兼容性和散熱需求。

其典型型號(hào)可能包含以下配置：

ZeGage Pro的用途聚焦于精密計(jì)量。它可用于測(cè)量集成電路芯片的引線高度、硅片的翹曲度、光學(xué)鏡面的面形誤差、MEMS器件的結(jié)構(gòu)尺寸、涂層厚度、摩擦磨損分析等，是連接研發(fā)設(shè)計(jì)與生產(chǎn)制造的重要質(zhì)檢環(huán)節(jié)。

使用說明強(qiáng)調(diào)了自動(dòng)化與可重復(fù)性。用戶只需簡(jiǎn)單培訓(xùn)即可上手操作。流程通常為：開機(jī)預(yù)熱、將樣品固定在載物臺(tái)上、在軟件中選擇預(yù)設(shè)的測(cè)量程序或自定義參數(shù)、啟動(dòng)自動(dòng)測(cè)量。儀器可自動(dòng)對(duì)焦、識(shí)別特征并完成掃描。分析模塊允許用戶自定義測(cè)量報(bào)告格式，并保存工作流程，便于對(duì)同類零件進(jìn)行批量檢測(cè)。

ZYGO ZeGage Pro 3D光學(xué)輪廓儀通過其綜合性能與用戶友好設(shè)計(jì)，致力于幫助用戶提升表面質(zhì)量檢測(cè)的效率和數(shù)據(jù)的價(jià)值。

ZYGO ZeGage Pro：高效3D表面測(cè)量方案