認(rèn)識ZYGO ZeGage Pro輪廓儀

ZYGO ZeGage Pro 是一款非接觸式的3D光學(xué)輪廓儀，致力于為科研與工業(yè)領(lǐng)域提供表面形貌的測量方案。它基于相干掃描干涉技術(shù)（CSI），能夠?qū)某饣轿⒋植诘母鞣N表面進行三維形貌測量和二維輪廓分析。

在產(chǎn)品細(xì)節(jié)上，ZeGage Pro的設(shè)計緊湊，集成了光源、干涉物鏡、精密壓電掃描器和高分辨率相機于一體。其外殼采用工業(yè)級的鋁合金材料，確保了儀器在長時間運行中的穩(wěn)定性和抗環(huán)境干擾能力。儀器正面配備了直觀的觸摸屏控制界面，使用戶能快速進行基礎(chǔ)操作和實時觀察。

該儀器的性能體現(xiàn)在其測量能力上。它能夠以納米級垂直分辨率捕捉表面細(xì)節(jié)，并提供大范圍的掃描區(qū)域。其重復(fù)性測量結(jié)果的一致性，有助于用戶進行可靠的對比和趨勢分析。無論是透明材料、金屬還是高反光表面，ZeGage Pro都能應(yīng)對常見的測量挑戰(zhàn)。

核心參數(shù)概覽：

• 垂直分辨率： 可達亞納米級

  
  

• 平臺行程： 可選100mm x 100mm或200mm x 200mm電動平臺

  
  

• 物鏡： 多種倍率可選（如2.5X, 5X, 10X, 20X, 50X）

  
  

• 相機： 高分辨率百萬像素相機

  
  

• 光源： LED白光光源，壽命長，穩(wěn)定性好

  
  

ZeGage Pro的用途廣泛，適用于半導(dǎo)體、光學(xué)制造、材料科學(xué)、精密加工和MEMS等多個行業(yè)。它常用于測量表面粗糙度、臺階高度、薄膜厚度、形貌結(jié)構(gòu)以及進行缺陷檢測。

使用說明方面，ZeGage Pro配備了友好的操作軟件。用戶通過選擇合適的物鏡和測量模式，將樣品置于平臺上，通過軟件自動對焦和設(shè)置掃描范圍，即可開始自動測量。軟件內(nèi)置的分析工具可輕松完成2D和3D參數(shù)計算、圖形繪制和報告生成。

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