ZeGage Pro激光干涉儀的多樣化應用場景

ZYGO ZeGage Pro 是一款非接觸式的3D光學輪廓儀，致力于為科研與工業(yè)領域提供表面形貌的測量方案。它基于相干掃描干涉技術（CSI），能夠對從超光滑到微粗糙的各種表面進行三維形貌測量和二維輪廓分析。

在產品細節(jié)上，ZeGage Pro的設計緊湊，集成了光源、干涉物鏡、精密壓電掃描器和高分辨率相機于一體。其外殼采用工業(yè)級的鋁合金材料，確保了儀器在長時間運行中的穩(wěn)定性和抗環(huán)境干擾能力。儀器正面配備了直觀的觸摸屏控制界面，使用戶能快速進行基礎操作和實時觀察。

該儀器的性能體現在其測量能力上。它能夠以納米級垂直分辨率捕捉表面細節(jié)，并提供大范圍的掃描區(qū)域。其重復性測量結果的一致性，有助于用戶進行可靠的對比和趨勢分析。無論是透明材料、金屬還是高反光表面，ZeGage Pro都能應對常見的測量挑戰(zhàn)。

ZeGage Pro的核心優(yōu)勢源于其內在的技術和扎實的制造用材。它采用了經過驗證的相干掃描干涉法（CSI），這是一種通過分析樣品與參考鏡之間產生的干涉信號來重建表面三維形貌的技術，適用于多種表面的精細測量。

在光學系統方面，ZeGage Pro配備了高質量的LED光源，不僅提供了穩(wěn)定的照明，還具有長的使用壽命，降低了后續(xù)的維護成本。其干涉物鏡系列經過精心設計和校準，確保了測量的準確傳遞。鏡片采用低膨脹系數的光學玻璃，減少了由熱波動引起的測量偏差。

儀器的機械結構是穩(wěn)定性的基石。核心掃描單元采用低熱膨脹材料和高剛性結構設計，有效隔離了外界振動和溫度變化帶來的影響。精密壓電陶瓷（PZT）驅動器負責完成納米級的垂直掃描，其線性和重復性為高分辨率測量提供了保障。

樣品臺同樣體現了對質量的關注。臺面平整度高，由耐磨材料制成，電動驅動版本采用精密的絲杠和電機，確保了定位的準確性和重復性。

ZYGO ZeGage Pro 3D光學輪廓儀的應用范圍橫跨多個制造與研發(fā)領域，其靈活的配置和可靠的性能使其成為多種測量任務的合適選擇。

在光學制造領域，它用于測量透鏡、棱鏡、反射鏡等光學元件的表面質量、曲率半徑、面形誤差以及鍍膜后的表面變化。對于激光光學元件和自由曲面，其高分辨率的測量能力顯得尤為重要。

在半導體和MEMS（微機電系統）領域，ZeGage Pro可以精確測量硅晶圓上的薄膜厚度、光刻膠圖形的臺階高度、CMP（化學機械拋光）后的表面平整度以及微結構的三維形貌。其非接觸的特性避免了對脆弱結構的損傷。

在精密加工與材料科學領域，該儀器可用于評估金屬、陶瓷、聚合物等材料的表面粗糙度、磨損情況、涂層厚度和紋理方向。研究人員利用它來分析材料處理工藝（如拋光、研磨、噴涂）對表面特性的影響。

在學術科研領域，ZeGage Pro是物理學、化學、生物學等學科中進行微觀表面研究的工具。從仿生學表面結構到納米材料的形貌表征，它都能提供直觀且量化的數據支持。

使用說明在這些場景中略有不同。例如，測量高反光樣品時，可能需要調整光強或使用特定的物鏡；測量透明薄膜時，則需要軟件中的特殊分析算法來正確處理上下表面的干涉信號。ZeGage Pro的軟件提供了預設的測量模板和可自定義的流程，幫助用戶快速適應不同的應用需求，簡化操作步驟，提升測量效率。

ZeGage Pro激光干涉儀的多樣化應用場景