ZYGOZeGage Pro 結構與參數(shù)：可靠測量保障

產品簡介

ZYGOZeGage Pro 結構與參數(shù)：可靠測量保障
ZeGage Pro 采用緊湊型臺式設計，機身尺寸約 550mm×480mm×700mm，重量約 65kg，無需專用安裝空間，普通實驗室操作臺即可放置，節(jié)省場地資源。機身外殼選用高強度冷軋鋼板，表面經過靜電噴塑處理，具有良好的抗腐蝕、抗劃傷性能，長期使用仍能保持外觀整潔，同時有效隔絕外部環(huán)境對內部光學系統(tǒng)的干擾。

產品型號：

更新時間：2025-10-23

廠商性質：代理商

訪問量：115

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ZYGOZeGage Pro 結構與參數(shù)：可靠測量保障

ZeGage Pro 采用緊湊型臺式設計，機身尺寸約 550mm×480mm×700mm，重量約 65kg，無需專用安裝空間，普通實驗室操作臺即可放置，節(jié)省場地資源。機身外殼選用高強度冷軋鋼板，表面經過靜電噴塑處理，具有良好的抗腐蝕、抗劃傷性能，長期使用仍能保持外觀整潔，同時有效隔絕外部環(huán)境對內部光學系統(tǒng)的干擾。

ZYGOZeGage Pro 結構與參數(shù)：可靠測量保障

核心光學系統(tǒng)密封在獨立的防塵艙內，艙體采用密封膠條密封，防止灰塵、水汽進入，保障光學元件清潔，避免因污染影響成像質量。鏡頭接口采用標準化設計，兼容 8 種常用倍率物鏡，更換物鏡時只需輕輕旋轉即可裝卸，無需復雜的校準步驟，軟件會自動識別物鏡型號并匹配相應參數(shù)，減少操作時間。樣品臺是設備的關鍵結構之一，采用精密滾珠導軌，導軌表面覆蓋耐磨涂層，確保長期移動后仍能保持精度。樣品臺 X 軸、Y 軸移動范圍均為 80mm，Z 軸移動范圍為 40mm，搭配高精度光柵尺，移動精度可達 0.05μm，能精準定位樣品測量位置。

以下為 ZeGage Pro 核心參數(shù)表：

參數(shù)類別	具體參數(shù)
測量技術	相移干涉、動態(tài)干涉、共聚焦成像
橫向分辨率	0.15μm（20x 物鏡）
縱向分辨率	0.1nm（相移干涉模式）
掃描范圍	X/Y 軸：80mm×80mm，Z 軸：40mm
樣品臺承重	15kg
樣品臺移動精度	0.05μm（XYZ 軸）
傳感器幀率	120 幀 / 秒