DM8000M 搭載的 Leica LAS（Leica Application Suite）軟件是其數(shù)據(jù)采集與分析的核心。該平臺支持實時圖像預覽、自動拼圖、缺陷標記、尺寸測量以及批量報告生成。軟件界面采用模塊化布局，用戶可根據(jù)實際需求啟用或隱藏相應功能模塊，提升操作效率。徠卡DM8000M 顯微鏡軟件平臺與數(shù)據(jù)處理

關鍵功能

• 自動掃描與拼圖：用戶設定掃描區(qū)域后，系統(tǒng)自動控制載物臺進行行進、圖像采集并在后臺完成圖像拼接，生成完整的晶圓全景圖。

• 缺陷識別：內(nèi)置的機器視覺算法能夠對暗場或斜照圖像進行特征提取，自動標記顆粒、劃痕、孔洞等缺陷，并輸出缺陷尺寸、位置坐標。

• 尺寸測量：支持線性、圓形、角度等多種測量方式，測量精度受限于光學分辨率與載物臺定位精度，理論誤差在 ±0.2?µm 以內(nèi)。

• 報告生成：檢測完成后，系統(tǒng)可一鍵生成 PDF 或 Word 報告，報告中包含全景圖、缺陷統(tǒng)計表、測量結果以及操作日志。

數(shù)據(jù)管理

所有采集的圖像與分析結果均存儲在本地硬盤或網(wǎng)絡存儲服務器上，支持基于時間、樣品編號或項目名稱的檢索。軟件提供了數(shù)據(jù)備份與恢復功能，防止因硬件故障導致的數(shù)據(jù)丟失。

與其他系統(tǒng)的兼容性

• 文件格式：支持導出為 TIFF、PNG、JPEG、LAS 原始文件以及 CSV、XLSX 等表格格式。

• 接口：提供 OPC-UA 與 RESTful API，便于與 MES、ERP 等工廠信息系統(tǒng)對接，實現(xiàn)檢測數(shù)據(jù)的自動上傳與追溯。

使用建議

1. 使用：完成系統(tǒng)初始化后，進行一次全景掃描測試，檢查拼圖質量與缺陷識別準確性。

2. 日常操作：在每批次檢測前，校準光源強度與焦距，確保圖像一致性。

3. 數(shù)據(jù)歸檔：建議每月對歷史數(shù)據(jù)進行壓縮歸檔，保持硬盤空間充足。

通過 Leica LAS 軟件平臺的強大功能，DM8000M 能夠實現(xiàn)從圖像采集到數(shù)據(jù)分析、報告輸出的全流程自動化，幫助用戶提升檢測效率并實現(xiàn)數(shù)據(jù)的可追溯性。

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