ZYGO ZeGage Pro 3D光學(xué)輪廓儀通過多維度環(huán)境適配設(shè)計(jì)與標(biāo)準(zhǔn)化維護(hù)流程，確保設(shè)備在復(fù)雜環(huán)境中的穩(wěn)定運(yùn)行與精準(zhǔn)測量，其環(huán)境控制能力與維護(hù)規(guī)范體現(xiàn)對測量精度的深度把控。

環(huán)境適配方案
設(shè)備支持多種環(huán)境控制方案以適應(yīng)不同場景需求。恒溫恒濕罩可將溫度波動(dòng)控制在±0.5℃、濕度波動(dòng)控制在±2%，避免環(huán)境溫濕度變化對光學(xué)系統(tǒng)與測量結(jié)果的影響，尤其適用于生物材料、光學(xué)晶體等對環(huán)境敏感的樣品檢測。防震臺采用空氣彈簧結(jié)構(gòu)，能有效過濾頻率在2Hz-100Hz范圍內(nèi)的振動(dòng)干擾，確保設(shè)備在生產(chǎn)車間、實(shí)驗(yàn)室等振動(dòng)環(huán)境中仍能保持納米級測量精度。密封外殼設(shè)計(jì)減少灰塵與污染物進(jìn)入光學(xué)系統(tǒng)，延長干涉物鏡、壓電掃描單元等核心部件的使用壽命。環(huán)境控制艙則可進(jìn)一步實(shí)現(xiàn)溫度、濕度的精準(zhǔn)調(diào)控，滿足高精度科研實(shí)驗(yàn)的環(huán)境要求。