ZYGO 3D光學輪廓儀附件與選型建議
一、核心附件類型與適配場景
（一）樣品臺類附件
適配柔性薄膜、輕薄樣品（如 PET 膜、金屬箔），通過 0.03-0.05MPa 可調吸附壓力，使樣品平整貼合臺面，避免測量時褶皺。安裝時直接替換原有樣品臺，連接設備自帶氣路接口即可使用，適合半導體薄膜、光學薄膜等需高精度平整測量的場景。
X/Y 軸行程 100mm×80mm，定位精度 0.0005mm，支持預設 10 個測量點位，自動完成多區(qū)域批量檢測。需在 MetroPro 軟件中 “設備設置" 里勾選 “自動樣品臺" 并校準，適配半導體晶圓、批量機械零件等需高效檢測的場景，可將單批次檢測時間縮短 40%。
（二）光學類附件
安裝在物鏡與干涉儀之間，通過調節(jié)偏振角度（0°-90°）減少透明樣品（如玻璃、樹脂）的反光干擾，提升成像對比度。在光學鏡片、透明陶瓷檢測中啟用，配合軟件 “增強對比度" 功能，可使表面紋理清晰度提升 30%。
100X 倍率，水平分辨率 0.32μm、垂直分辨率 0.03nm，適配微小結構測量（如芯片納米級凸起、光學元件微透鏡）。更換時需輕擰原物鏡后裝新物鏡，再通過軟件 “物鏡校準" 功能用標準樣板驗證精度，適合精密半導體、微光學器件檢測場景。
（三）輔助類附件
2mm 厚坡莫合金材質，放置在樣品臺與設備主體間，削弱磁性樣品（如永磁體、電磁鐵芯）的磁場干擾。無需復雜安裝，直接鋪墊即可，適配機械領域磁性零件（如電機鐵芯）的表面粗糙度、臺階高度測量，可將磁場導致的測量偏差控制在 0.002μm 內。
包含臺階樣板（高度 0.1μm、1μm、10μm）、粗糙度樣板（Ra=0.01μm、0.1μm、1μm），用于設備日常校準與精度驗證。每次更換物鏡或維護后，用對應樣板校準，確保測量誤差符合要求，是實驗室計量、質量管控的備附件。
二、軟件擴展功能
需在 MetroPro 軟件中輸入授權碼激活，新增 “3D 模型對比"“缺陷統(tǒng)計分析" 功能：前者可將測量的 3D 形貌與 CAD 設計模型疊加，自動標注偏差區(qū)域；后者支持統(tǒng)計缺陷數(shù)量、尺寸分布，并生成直方圖報告。適配精密模具、航空零件等需深度數(shù)據(jù)分析的場景。
安裝遠程控制插件后，在局域網內通過電腦、平板端訪問設備，實現(xiàn)遠程啟動測量、查看數(shù)據(jù)。需在軟件 “網絡設置" 中配置 IP 地址，支持 3 個用戶同時訪問，適配多實驗室協(xié)作、無人值守檢測場景，方便異地數(shù)據(jù)共享。
三、設備選型建議
（一）按行業(yè)場景選型
優(yōu)先選 “基礎機 + 自動樣品臺 + 100X 物鏡 + 偏振光模塊"，滿足晶圓批量檢測、芯片納米級結構測量需求，兼顧效率與精度。
推薦 “基礎機 + 真空吸附樣品臺 + 偏振光模塊 + 標準樣板套裝"，適配透明光學元件（鏡片、薄膜）的平整度、厚度測量，確保光學性能檢測準確。
可選 “基礎機 + 防磁屏蔽板（按需）+50X 物鏡"，滿足機械零件表面粗糙度、臺階高度測量，若需批量檢測可加配自動樣品臺。
（二）選型注意事項
精度匹配：根據(jù)測量需求選擇物鏡（低精度選 5X-20X，高精度選 50X-100X），避免過度追求高倍導致效率浪費；
功能適配：柔性樣品必選真空吸附樣品臺，透明樣品優(yōu)先加偏振光模塊，批量檢測再考慮自動樣品臺；
后續(xù)擴展：預留附件接口（如氣路、數(shù)據(jù)接口），方便后期加裝新附件，減少設備更換成本。
通過合理搭配附件與擴展功能，ZeGage Pro 可進一步適配多領域復雜測量需求，而科學的選型則能確保設備性能與實際需求精準匹配，大化發(fā)揮其檢測價值。
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