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RMC超薄切片機的厚度控制機制詳解

產(chǎn)品簡介

RMC超薄切片機的厚度控制機制詳解 切片厚度是超薄切片機的核心參數(shù),直接影響后續(xù)觀察效果。PowerTome PCZ通過“進給量控制+反饋校準"實現(xiàn)精準厚度調(diào)節(jié)。

產(chǎn)品型號:PowerTome PCZ
更新時間:2025-10-23
廠商性質(zhì):代理商
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RMC超薄切片機的厚度控制機制詳解切片厚度是超薄切片機的核心參數(shù),直接影響后續(xù)觀察效果。PowerTome PCZ通過“進給量控制+反饋校準"實現(xiàn)精準厚度調(diào)節(jié)。

熱膨脹進給模式下,設備內(nèi)置微型加熱線圈包裹在進給桿(通常為因瓦合金,熱膨脹系數(shù)1.2×10??/℃)外。控制系統(tǒng)通過PID算法調(diào)節(jié)加熱功率,使進給桿以0.1℃/步的速率升溫,對應膨脹量約0.12nm/步。用戶設定的厚度值(如100nm)會被轉換為加熱總時長,進給桿推動樣本臂完成一次切片后,自動回退至初始位置,避免累積誤差。
機械進給模式則依賴高精度滾珠絲桿(導程10μm)與步進電機(步距角1.8°)。電機每接收一個脈沖,絲桿旋轉1.8°,推動樣本臂前進10μm/(360°/1.8°)≈0.005mm,即5nm。系統(tǒng)通過光電編碼器監(jiān)測電機轉速,確保進給量與設定值一致。
為保證長期精度,PCZ提供自動校準功能:用戶可使用標準厚度硅片(如50nm、100nm)作為參考,設備通過激光測厚儀測量切片實際厚度,反向修正進給參數(shù)。某實驗室曾因環(huán)境溫度變化(從20℃升至25℃)導致熱膨脹模式切片偏厚,通過校準功能,5分鐘內(nèi)恢復精度至±3%以內(nèi)。
RMC超薄切片機的厚度控制機制詳解 




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