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Sensofar白光干涉光學(xué)輪廓儀的測量精度

產(chǎn)品簡介

Sensofar白光干涉光學(xué)輪廓儀的測量精度白光干涉光學(xué)輪廓儀的測量精度是其在表面形貌測量中受到關(guān)注的重要因素。這種儀器通常能夠提供納米級的縱向分辨率,適用于從粗糙到超光滑表面的多種測量任務(wù)。Sensofar S neox 光學(xué)輪廓儀的白光干涉模式在系統(tǒng)噪聲方面表現(xiàn)出較低的水平,根據(jù)不同物鏡配置,系統(tǒng)噪聲可低至數(shù)納米。

產(chǎn)品型號:S neox 0.65X
更新時間:2025-11-04
廠商性質(zhì):代理商
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Sensofar白光干涉光學(xué)輪廓儀的測量精度白光干涉光學(xué)輪廓儀的測量精度是其在表面形貌測量中受到關(guān)注的重要因素。這種儀器通常能夠提供納米級的縱向分辨率,適用于從粗糙到超光滑表面的多種測量任務(wù)。Sensofar S neox 光學(xué)輪廓儀的白光干涉模式在系統(tǒng)噪聲方面表現(xiàn)出較低的水平,根據(jù)不同物鏡配置,系統(tǒng)噪聲可低至數(shù)納米。

在縱向測量方面,Sensofar S neox 光學(xué)輪廓儀的Z軸性能提供了兩種模式:普通模式和精細模式。普通模式采用線性導(dǎo)軌,行程為40毫米,精度為5納米;精細模式配備電容傳感器的壓電陶瓷晶體Z軸,行程為200微米,精度為1.25納米。這種設(shè)計使儀器能夠適應(yīng)不同范圍的縱向測量需求。

橫向分辨率取決于物鏡的數(shù)值孔徑和放大倍率。Sensofar S neox 光學(xué)輪廓儀提供多種物鏡選擇,從5X到150X,覆蓋不同的視場范圍和像素分辨率。例如,在100X BF物鏡下,像素分辨率可達0.07微米,光學(xué)分辨率為0.16微米。這種多物鏡設(shè)計使儀器能夠平衡測量范圍和分辨率的需求。

白光干涉光學(xué)輪廓儀的精度還受到環(huán)境因素的影響,如溫度波動和機械振動。Sensofar S neox 光學(xué)輪廓儀采用了全封閉光路設(shè)計和恒溫控制系統(tǒng),有助于減少這些因素對測量精度的影響。此外,儀器的掃描頭內(nèi)無運動部件,降低了振動引起的誤差。

在干涉模式下,Sensofar S neox 光學(xué)輪廓儀的系統(tǒng)噪聲為PSI / ePSI 0.1納米(使用PZT時可達0.01納米)或CSI 1納米。這種低噪聲水平有助于提高測量結(jié)果的重復(fù)性和準確性。儀器還配備了智能噪音檢測功能,能夠識別并消除不可靠的數(shù)據(jù)像素,進一步提高數(shù)據(jù)質(zhì)量。

為了確保測量結(jié)果的可追溯性,Sensofar S neox 光學(xué)輪廓儀使用符合ISO 25178標準的可追溯標準進行校準。這包括縱向精度、橫向尺寸、平面度誤差以及偏心度等參數(shù)的校準。定期校準有助于維持儀器的長期測量精度。

在實際應(yīng)用中,白光干涉光學(xué)輪廓儀的測量精度也受到樣品表面特性的影響。例如,對于透明材料或多層薄膜,可能需要調(diào)整測量參數(shù)或采用不同的測量模式。Sensofar S neox 光學(xué)輪廓儀的多模式設(shè)計使其能夠適應(yīng)不同特性的樣品,為用戶提供更可靠的測量結(jié)果。

總的來說,白光干涉光學(xué)輪廓儀通過精密的硬件設(shè)計和*的數(shù)據(jù)處理算法,提供了較高的測量精度。其低噪聲、多模式和環(huán)境適應(yīng)性等特點,使其能夠滿足多種應(yīng)用場景對表面形貌測量的精度要求。Sensofar白光干涉光學(xué)輪廓儀的測量精度

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