白光干涉儀S neox的涂層厚度測量

產(chǎn)品簡介

白光干涉儀S neox的涂層厚度測量：Sensofar S neox通過非接觸式臺階高度測量，可精確量化涂層或薄膜的厚度與均勻性，為質(zhì)量控制和工藝研究提供關(guān)鍵數(shù)據(jù)。

產(chǎn)品型號：

更新時間：2025-11-17

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產(chǎn)品分類

PRODUCT CLASSIFICATION

三維光學(xué)輪廓儀

布魯克 BEUKER白光干涉光學(xué)輪廓儀 Sensofar 儀光新型共聚焦白光干涉儀 SENSOFAR 3D光學(xué)輪廓儀 SENSOFAR共聚焦白光干涉儀 SENSOFAR結(jié)構(gòu)光三維輪廓儀 SENSOFAR平面度測量干涉儀 ZYGO三維光學(xué)輪廓儀布魯克三維光學(xué)輪廓儀

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白光干涉儀S neox的涂層厚度測量

在許多工業(yè)應(yīng)用和科研領(lǐng)域中，對基材上的涂層、薄膜厚度進(jìn)行精確測量是常見的需求。涂層的厚度直接影響其光學(xué)、電學(xué)、機械和防腐性能。Sensofar S neox 3D光學(xué)輪廓儀提供了一種非接觸式測量涂層厚度的方法，特別適用于需要測量局部厚度或無法進(jìn)行截面破壞性檢測的場景。

S neox測量涂層厚度的原理通常基于對臺階高度的測量。常用的方法是人為制造一個臺階：在涂層上制造一個微小缺口，使基材暴露出來。這可以通過輕微刮擦、使用掩膜或選擇性蝕刻等方式實現(xiàn)，關(guān)鍵是確保臺階邊緣清晰。

然后，使用S neox的白光干涉模式或高倍共聚焦模式掃描這個臺階區(qū)域。儀器會精確獲取從涂層表面到暴露的基材表面的高度差，這個高度差即為涂層的厚度。

這種方法的優(yōu)勢包括：

非破壞性（相對截面法）：無需將樣品切開制樣，對樣品本身破壞較小。

高分辨率：白光干涉模式可提供亞納米級的垂直分辨率，適合測量從納米到微米級的薄膜厚度。

定位測量：可以精確選擇樣品的特定位置進(jìn)行厚度測量，研究涂層的均勻性。

同時獲得形貌信息：除了厚度值，還能觀察涂層表面的形貌、粗糙度以及臺階邊緣的質(zhì)量。

需要注意的是，此方法需要制備一個清晰的臺階，且測量結(jié)果的有效性取決于臺階邊緣的質(zhì)量。對于非常硬或脆的涂層，制備清晰臺階可能需要技巧。對于多層膜結(jié)構(gòu)，測量會變得復(fù)雜。

盡管如此，對于許多常見的涂層，Sensofar S neox提供了一種有效的厚度測量方案。它將厚度測量轉(zhuǎn)化為精確的臺階高度測量，為涂層工藝的質(zhì)量控制和研究開發(fā)提供了一種可供選擇的手段。