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三維光學(xué)輪廓儀
Sensofar
白光干涉儀S neox的微透鏡陣列表征





產(chǎn)品簡介
白光干涉儀S neox的微透鏡陣列表征:Sensofar S neox可對微透鏡陣列進行高精度三維形貌測量,精確量化面形、曲率、矢高及陣列均勻性,為光學(xué)性能評估與工藝優(yōu)化提供關(guān)鍵數(shù)據(jù)支撐。
•面形分析:可以評估每個微透鏡的實際面形與設(shè)計面形(如球形、非球面)的偏差,計算面形誤差。
•曲率半徑與焦距:通過擬合透鏡表面的三維數(shù)據(jù),可以精確計算其曲率半徑,進而推算焦距。
•矢高:精確測量透鏡頂點與邊緣的高度差。
•陣列均勻性:可以批量測量陣列中多個透鏡的口徑、矢高等參數(shù),計算其均勻性,評估制造工藝的一致性。
S neox的大面積拼接功能允許測量超過單個視場的大型微透鏡陣列。其高垂直分辨率能夠精確分辨納米級的面形誤差。對于透明材質(zhì)的微透鏡,可以使用共聚焦模式或啟用透明材料校正算法。
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