3D光學(xué)輪廓儀S neox的多技術(shù)融合之道
在現(xiàn)代精密計量領(lǐng)域,面對復(fù)雜的應(yīng)用場景,單一的測量技術(shù)往往難以應(yīng)對所有挑戰(zhàn)。共聚焦顯微鏡在測量高陡坡和粗糙表面時表現(xiàn)穩(wěn)定,白光干涉儀則為光滑表面提供優(yōu)異的垂直分辨率。Sensofar S neox 3D光學(xué)輪廓儀的一個顯著特點,在于將其三種核心技術(shù)——共聚焦、干涉和白光干涉,集成于一個平臺。這種融合并非簡單的功能疊加,而是通過精心的光路設(shè)計和智能軟件控制,旨在實現(xiàn)“1+1>2"的效果,拓展設(shè)備的綜合應(yīng)用能力。
這種技術(shù)融合的核心價值在于其應(yīng)對多樣性的能力。在研發(fā)實驗室或質(zhì)檢部門,待測樣品的表面特性可能差異巨大。研究人員可能上午需要測量一個經(jīng)過拋光的光學(xué)鏡面,其表面粗糙度接近亞納米級別;下午則需要檢測一個經(jīng)過噴砂處理的金屬表面,其紋理粗糙且復(fù)雜。如果使用單一技術(shù)的設(shè)備,可能需要在兩臺儀器之間切換,或者對某些表面無法進行理想測量。S neox通過其集成平臺,為用戶提供了選擇的靈活性。對于超光滑表面,用戶可以選擇白光干涉模式,以利用其優(yōu)異的縱向分辨率;對于粗糙或存在陡峭邊緣的表面,則可以切換到共聚焦模式,以獲得更完整可靠的三維形貌數(shù)據(jù)。智能化的軟件在技術(shù)選擇中扮演著引導(dǎo)角色。對于不熟悉各種技術(shù)細微差別的用戶,S neox的軟件可以基于實時捕獲的表面圖像,智能分析樣品的反射率、粗糙度等特性,并提供測量模式建議。這降低了操作門檻,有助于用戶更快地獲得有效的測量結(jié)果。例如,當(dāng)軟件識別到視野內(nèi)主要為光滑表面時,可能會建議采用白光干涉模式;當(dāng)檢測到大量陡峭邊緣或復(fù)雜結(jié)構(gòu)時,則可能推薦共聚焦模式。更重要的是,多種技術(shù)可以在一次測量流程中協(xié)同工作。用戶可以先用低倍共聚焦模式快速掃描一個大面積區(qū)域,定位到幾個需要精細檢查的平滑區(qū)域,然后針對這些特定區(qū)域,切換到白光干涉模式進行納米級粗糙度測量。整個流程可以在一個預(yù)設(shè)程序中自動完成。這種協(xié)同工作方式,既保證了測量效率,又兼顧了不同區(qū)域?qū)y量技術(shù)的最佳適應(yīng)性,實現(xiàn)了從宏觀定位到微觀精測的無縫銜接。此外,技術(shù)融合還帶來了數(shù)據(jù)互補和相互驗證的可能性。在某些復(fù)雜結(jié)構(gòu)的測量中,單一技術(shù)獲得的數(shù)據(jù)可能存在不確定性。例如,在白光干涉測量中,對于某些特殊形貌,解包裹算法可能會遇到挑戰(zhàn)。此時,共聚焦模式獲得的獨立三維數(shù)據(jù)可以作為有力的參考和驗證,從而提高測量結(jié)果的可信度和可靠性。因此,Sensofar S neox 3D光學(xué)輪廓儀的技術(shù)融合之道,體現(xiàn)了一種面向?qū)嶋H應(yīng)用問題的系統(tǒng)解決方案思維。它不追求單一技術(shù)的參數(shù),而是通過集成多種經(jīng)過驗證的測量技術(shù),并使其能夠靈活、便捷地組合使用,為用戶提供了一個適應(yīng)性更廣、功能更全面的測量平臺。這種設(shè)計思路,使得用戶能夠更從容地應(yīng)對從超光滑光學(xué)表面到粗糙的機械加工表面等多樣化的測量任務(wù),在科研洞察力和質(zhì)量控制方面提供支持。
3D光學(xué)輪廓儀S neox的多技術(shù)融合之道