白光干涉儀S neox的粗糙度分析應(yīng)用

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白光干涉儀S neox的粗糙度分析應(yīng)用:Sensofar S neox將表面粗糙度分析從一維的線分析推進(jìn)到三維的面分析，提供了更豐富、更具統(tǒng)計(jì)意義的表面信息，其非接觸的特點(diǎn)也使其適用于柔軟、易劃傷表面的檢測(cè)，為表面形貌的量化評(píng)價(jià)提供了現(xiàn)代化的工具。

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更新時(shí)間：2025-11-14

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三維光學(xué)輪廓儀

布魯克 BEUKER白光干涉光學(xué)輪廓儀 Sensofar 儀光新型共聚焦白光干涉儀 SENSOFAR 3D光學(xué)輪廓儀 SENSOFAR共聚焦白光干涉儀 SENSOFAR結(jié)構(gòu)光三維輪廓儀 SENSOFAR平面度測(cè)量干涉儀 ZYGO三維光學(xué)輪廓儀布魯克三維光學(xué)輪廓儀

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白光干涉儀S neox的粗糙度分析應(yīng)用

表面粗糙度是表征表面微觀幾何特征的關(guān)鍵參數(shù)，直接影響零件的摩擦、磨損、密封、疲勞強(qiáng)度和光學(xué)性能等。傳統(tǒng)的觸針式輪廓儀雖被廣泛使用，但其接觸式測(cè)量可能對(duì)柔軟表面造成劃傷，且測(cè)量速度相對(duì)較慢。Sensofar S neox 3D光學(xué)輪廓儀作為一種非接觸式光學(xué)測(cè)量設(shè)備，為表面粗糙度分析提供了另一種有效的解決方案，并能獲取更豐富的三維信息。

S neox進(jìn)行粗糙度分析的優(yōu)勢(shì)在于其三維和非接觸的特性。它通過(guò)白光干涉或共聚焦技術(shù)，快速獲取一個(gè)區(qū)域內(nèi)的三維形貌數(shù)據(jù)，而非僅僅一條或幾條輪廓線。這使得分析從傳統(tǒng)的二維參數(shù)（如Ra, Rz）擴(kuò)展到符合ISO 25178標(biāo)準(zhǔn)的三維區(qū)域參數(shù)（如Sa, Sq, Sz）。區(qū)域參數(shù)能更全面地反映表面的統(tǒng)計(jì)特性，避免了因單條測(cè)量線的位置選擇不同而帶來(lái)的偏差。

測(cè)量過(guò)程高效直觀。用戶選擇待測(cè)區(qū)域后，儀器可在短時(shí)間內(nèi)完成掃描。隨后，SensoMAP軟件提供強(qiáng)大的數(shù)據(jù)處理功能。用戶可以進(jìn)行傾斜校正，以消除樣品放置不當(dāng)帶來(lái)的傾斜；可以應(yīng)用濾波器，分離表面成分中的粗糙度和波紋度成分，從而專注于所關(guān)注的尺度范圍。

軟件內(nèi)置了完整的參數(shù)庫(kù)，可以直接輸出Sa（算術(shù)平均高度）、Sq（均方根高度）、Sk（核心粗糙度深度）等數(shù)十個(gè)參數(shù)。這些參數(shù)從不同角度量化表面的幅度、間距、混合特性等。對(duì)于特定功能的研究，如軸承的潤(rùn)滑液保有量、密封件的接觸性能，軟件還可以計(jì)算支承率曲線和相關(guān)功能參數(shù)。

對(duì)于各向異性表面（如車削、研磨產(chǎn)生的有方向性紋理），三維形貌圖可以直觀展示紋理的方向性，并且可以通過(guò)方向性參數(shù)進(jìn)行量化分析。這是單條輪廓測(cè)量難以實(shí)現(xiàn)的。

需要指出的是，光學(xué)粗糙度測(cè)量有其適用的范圍。對(duì)于非常光滑或具有一定反射率的表面，白光干涉模式能提供高分辨率的測(cè)量結(jié)果。對(duì)于非常粗糙或陡峭的表面，共聚焦模式可能更為合適。S neox的多技術(shù)集成特點(diǎn)，允許用戶根據(jù)樣品特性選擇更適合的模式進(jìn)行粗糙度分析。

綜上所述，Sensofar S neox將表面粗糙度分析從一維的線分析推進(jìn)到三維的面分析，提供了更豐富、更具統(tǒng)計(jì)意義的表面信息，其非接觸的特點(diǎn)也使其適用于柔軟、易劃傷表面的檢測(cè)，為表面形貌的量化評(píng)價(jià)提供了現(xiàn)代化的工具。

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